【摘要】牺牲层释放是空腔型薄膜体声波谐振器(FBAR)工艺中形成空腔结构的关键步骤，牺牲层释放的效果直接决定了空腔型FBAR的谐振特性。根据空腔型FBAR中气隙的功能和结构特点，提出了自顶向下贯穿腐蚀牺牲层制备镂空空腔型FBAR的创新工艺方法。为验证该方法的可行性，采用MATLAB对牺牲层腐蚀的恒扩散系数(CDC)模型进行数值迭代，采用Silvaco软件对其腐蚀过程进行仿真，根据仿真结果提出释放窗口的优化设计；采用ANSYS软件对镂空FBAR的谐振特性进行有限元仿真分析，对比常规FBAR发现，镂空FBAR具有较好的谐振特性，且其陧抗零点、阻抗极点频率向高频段漂移，有效机电耦合系数和品质因数降低。
【关键词】
《吉林农业》 2015-11-12
《考试与评价》 2015-11-12
《吉林农业》 2015-11-12
《考试与评价》 2015-11-12
《压电与声光》 2015-11-12
《压电与声光》 2015-11-13
《考试与评价》 2015-11-12
《河南理工大学学报（社会科学版）》 2015-11-13
010-56259535
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