【摘要】针对微细电火花加工技术的特点，开发、研制了高精度三维微结构加工的细电火花设备，主要介绍了该装置的结构和数字比例、积分和微分( PID)结合双向静差补偿的控制方法，实现放电间隙与放电状态的自适应调节，并利用该装置进行了平台性能的试验研究，试验结果表明该加工技术响应时间快、平稳、超低速和超高分辨率、加工效率较高，可实现平台在100 mm行程内达到亚微米级精度，最低速度为0.1Um/s，闭环最小步进量为100 nm，可满足微细电火花加工的要求。
【关键词】
《考试与评价》 2015-11-12
《佛山科学技术学院学报（自然科学版）》 2015-11-12
《中国林业经济》 2015-11-12
《考试与评价》 2015-11-12
《文化产业》 2015-11-13
《考试与评价》 2015-11-13
《改革与开放》 2015-11-13
《文化产业》 2015-11-13
010-56259535
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