【摘要】该文研究了在新型压电材料YCa40(B03)。(YCOB)上设计和制备高温声表面波(SAW)谐振器。研究了2种不同切型X-90。、Z- 90。YCOB为基底的SAW谐振器的高温性能。研究表明，在600℃下器件的稳定性高，其谐振频率随着温度的升高呈线性降低。Z- 90。YCOB器件的谐振频率和温度灵敏度分别为278. 94 MHz和21. 22 kHz]℃；X- 90。YCOB器件的谐振频率和温度灵敏度分别为230. 53 MHz和13. 44 kHz]℃。结果表明，Z- 90。切型的YCOB的温度灵敏度较高。
【关键词】
《天津中德职业技术学院学报》 2015-11-11
《中外医疗》 2015-11-11
《建材发展导向》 2015-11-11
《宁波职业技术学院学报》 2015-11-11
《压电与声光》 2015-11-12
《中外医疗》 2015-11-11
《天津中德职业技术学院学报》 2015-11-11
010-56259535
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