【摘要】基于微机电系统( MEMS)工艺，设计并加工了一种“L”型微弹簧。根据经典材料力学理论进行的分析表明，在微弹簧竖直方向所受10 mN力的作用下，微弹簧内部最大应力为88. 75 MPa，且最大应力位于连接处。有限元仿真表明在同等条件下，微弹簧的最大应力为89. 326 MPa，与理论分析吻合。
【关键词】
《纺织科技进展》 2015-11-13
《考试与评价》 2015-11-13
《华北水利水电大学学报（自然科学版）》 2015-11-13
《黑龙江冶金》 2015-11-13
《文化产业》 2015-11-13
《考试与评价》 2015-11-13
《纺织科技进展》 2015-11-13
《纺织科技进展》 2015-11-13
010-56259535
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