【摘要】薄膜体声波谐振器(FBAR)电极层和压电层的厚度、材料是影响谐振频率的主要因素，确定各层的厚度和材料可得到期望的谐振频率。通过推导FBAR纵向运动应力方程，得到各层厚度、材料、频率参数与角频率相关的公式；采用MATLAB对FBAR各层应力和位移的边界、连续性条件方程组的行列式进行牛顿迭代，得到各层的频率参数。
【关键词】
《铝加工》 2015-11-13
《压电与声光》 2015-11-13
《考试与评价》 2015-11-13
《铝加工》 2015-11-13
《文化产业》 2015-11-13
《文化产业》 2015-11-13
《考试与评价》 2015-11-13
《华北水利水电大学学报（自然科学版）》 2015-11-13
010-56259535
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