【摘要】采用光刻、干法刻蚀、电镀等微机电系统( MEMS)工艺设计了一种新型的带磁芯的螺线管微电感。采用COMSOL Multiphysics有限元软件，计算了不同频率交流载荷下的等效电阻、等效电感和阻抗随频率变化的关系。
【关键词】
《压电与声光》 2015-11-13
《单片机与嵌入式系统应用》 2015-11-13
《广州大学学报（社会科学版）》 2015-11-13
《考试与评价》 2015-11-13
《华北水利水电大学学报（自然科学版）》 2015-11-13
《文化产业》 2015-11-13
《华北水利水电大学学报（自然科学版）》 2015-11-13
《黑龙江冶金》 2015-11-13
010-56259535
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