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PLD法制备透明Zn0薄膜的主要点缺陷研究

更新时间:2015-11-13

【摘要】采用脉冲激光沉积(PLD)法在石英衬底上制备了Zn0薄膜。为研究Zn0薄膜内部主要点缺陷,我们用(002) Zn0单晶与Zn0薄膜作对比,并进行了霍尔测试、X线衍射(XRD)和光学透射谱等基本表征。霍尔测量得到的高的霍尔迁移率及XRD图表明,制备的Zn0薄膜结晶良好,具有沿c轴高度择优取向。

【关键词】

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