【摘要】研究了恒定气压下、通入不同气体流量对射频磁控溅射原位沉积氮化铝(AIN)薄膜应力、结晶质量和表面形貌的影响。利用应力分析仪、X线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和台阶仪对AIN薄膜的结构特性进行了分析。
【关键词】
《压电与声光》 2015-11-13
《河南理工大学学报（社会科学版）》 2015-11-13
《西北水电》 2015-11-13
《考试与评价》 2015-11-13
《文化产业》 2015-11-13
《现代制造技术与装备》 2015-11-13
《文化产业》 2015-11-13
《天津医药》 2015-11-13
010-56259535
关注中教数据库
Copyright © 2013-2016 ZJHJ Corporation,All Rights Reserved
个人中心
退出
发表评论
登录后发表评论 (已发布 0条)点亮你的头像 秀出你的观点