【摘要】利用MS500-B超高真空磁控溅射镀膜机，分别采用氧化法和还原法在普通玻璃基底上制备了二氧化钒(V02)相变薄膜；并在20～80℃内往复变化时，利用XMT-100数字精密温度计和SX19 34数字四探针测试仪测量两类样品的电阻一温度特性曲线。结果表明，两类样品均具有热敏相变特性；氧化法制备薄膜的电阻为9.96～0. 06 k\Q，相变温度约为30℃；还原法制备薄膜的电阻为80. 3～7.4 k\Q，相变温度约为52℃。
【关键词】
《广州大学学报（社会科学版）》 2015-11-13
《河南理工大学学报（社会科学版）》 2015-11-13
《西北水电》 2015-11-13
《河南理工大学学报（社会科学版）》 2015-11-13
《考试与评价》 2015-11-13
《低压电器》 2015-11-13
《华北水利水电大学学报（自然科学版）》 2015-11-13
《唐山学院学报》 2015-11-13
010-56259535
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