【摘要】设计了一种结构简单的微型石英谐振式压力传感器，该传感器芯片由力学转换元件、谐振敏感元件和支撑元件3部分构成。仿真分析了压力100 kPa内传感器输出频率与输入压力的关系，经线性拟合后得出其最大相对非线性误差为0. 09%。采用石英深槽湿法腐蚀的方法加工出了芯片3个元件结构，并经镀膜及键合等后工序制作出了传感器芯片，其性能实测值与仿真结果基本吻合，验证了结构及工艺方案的可行性。
【关键词】
《河南理工大学学报（自然科学版）》 2015-11-12
《河南理工大学学报（自然科学版）》 2015-11-12
《河南理工大学学报（自然科学版）》 2015-11-12
《压电与声光》 2015-11-12
《文化产业》 2015-11-13
《纺织科技进展》 2015-11-13
《文化产业》 2015-11-13
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010-56259535
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