【摘要】给出了一种声表面波(SAW)应变传感器石英基片各切向灵敏度的分析方法，以微扰理论为基础构建有限元模型计算应变量，并以此计算出SAW频率相对偏移量，分析计算不同切向下石英基片的应变灵敏度，并选取了应变灵敏度较高且温度灵敏度较低的ST-X切石英进行实验。实验测得应变灵敏度为0.382 kHz/tie，与理论计算结果(0. 590 kHz/tie)基本一致，验证了理论分析方法的正确性。
【关键词】
《考试与评价》 2015-11-12
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010-56259535
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