【摘要】传统方法制作可调谐光栅的制作工艺复杂，成本高，时间长，因此，该文提出了一种新型的基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)可调谐光栅法，通过氧等离子体法制作出微米尺度的光栅结构。利用等离子体时间的可控性和PDMS的优异弹性，通过调控等离子体的时间和PDMS的拉伸程度的(最大可拉伸120%)，制得所需尺寸光栅。将制得的光栅薄膜沿光栅栅线方向拉伸，随着栅线的伸长，光栅常数随之变小，从而对光栅周期进行连续、任意调谐，并获得预定的目标周期。实验表明，制作的光栅可调谐范围可达40%，且调谐过程中金属光栅保持完整，衍射角变化明显，理论值与实验值基本吻合，取得了预期的实验效果。实验结果表明，提出的新型可调谐光栅制作成本和周期降低，工艺制作过程较简单，且易控制。
【关键词】
《考试与评价》 2015-11-12
《压电与声光》 2015-11-12
《河南理工大学学报（自然科学版）》 2015-11-12
《考试与评价》 2015-11-12
《现代制造技术与装备》 2015-11-13
《现代制造技术与装备》 2015-11-13
《改革与开放》 2015-11-13
《文化产业》 2015-11-13
010-56259535
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