【摘要】研究了压电基片上聚二甲基硅氧烷( PDMS)薄膜对声表面波(SAW)传播特性影响。在128。YX -LiNb03压电基片上光刻叉指换能器(IDT)，其声传播路径上涂覆PDMS薄膜，IDT激发的SAW加热PDMS薄膜上石蜡油微流体，并测量不同PDMS薄膜厚度时石蜡油微流体的温度，进而计算薄膜对SAW的衰减量。实验结果和理论计算表明，压电基片上涂覆PDMS薄膜将衰减辐射入石蜡油微流体的声表面波强度，衰减幅度随基片上PDMS薄膜厚度的增加而增加。当压电基片上涂覆的PDMS薄膜厚度为ioo r_'m和150 t_'m时，薄膜对SAW衰减量分别为23. 3%和36.0%。
【关键词】
《山东科学》 2015-11-12
《考试与评价》 2015-11-12
《考试与评价》 2015-11-12
《压电与声光》 2015-11-12
《文化产业》 2015-11-13
《现代制造技术与装备》 2015-11-13
《考试与评价》 2015-11-13
《考试与评价》 2015-11-13
010-56259535
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