【摘要】从理论上计算出Zn0/蓝宝石结构声表面波相速度和机电耦合系数k2色散曲线。计算显示，在Zn0膜厚和声表面波器件波长之比h／A—0.48时，IDTlZnO(c面)／蓝宝石（c面）结构西沙瓦波1次模式的k2最大值为2. 705%，理论声速为4 982 m／s；在h/A—0.3时，IDTlZnO(a面)／蓝宝石（r面）结构西沙瓦波1次模式的k2最大值为4. 34%，理论声速为5 509 m／s。结果表明，IDTlZnO(a面)／蓝宝石（r面）结构西沙瓦波1次模式的k2和声速较大，适于研制高频低损耗声表面波滤波器。
【关键词】
《考试与评价》 2015-11-12
《压电与声光》 2015-11-12
《考试与评价》 2015-11-12
《山东科学》 2015-11-12
《改革与开放》 2015-11-13
《纺织科技进展》 2015-11-13
《纺织科技进展》 2015-11-13
《现代制造技术与装备》 2015-11-13
010-56259535
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