【摘要】为了表征制备的L波段体声波(BAW)滤波器的性能，采用射频探针台和矢量网络分析仪片上测试获得了BAW滤波器的S参数；在ADS软件环境下计算了BAW滤波器的各项性能参数。比较实测与仿真得到的S参数曲线，发现：低阻硅衬底会使BAW滤波器的带内插损显著增加；BAW滤波器中各薄膜体声波谐振器(FBAR)单元的薄膜沉积厚度误差会使BAW滤波器的带内波动偏大，且FBAR薄膜厚度较设计值增大时BAW滤波器的中心频率会向下偏移。以制备的一只BAW滤波器为例，测得其中心频率为1495 MHz，带竟为17 MHz，带内插损为-46. 413 dB，带内波动为2.816 dB，带外抑制为- 72. 525 dB／- 79. 356 dB，电压驻波比为1.940。该文给出的BAW滤波器片上测试与性能表征方法具有通用性。
【关键词】
《考试与评价》 2015-11-12
《山东科学》 2015-11-12
《考试与评价》 2015-11-12
《压电与声光》 2015-11-12
《考试与评价》 2015-11-13
《纺织科技进展》 2015-11-13
《华北水利水电大学学报（自然科学版）》 2015-11-13
《华北水利水电大学学报（自然科学版）》 2015-11-13
010-56259535
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