【摘要】采用溶胶一凝胶法在玻璃衬底上制备了不同Cu掺杂量的Zn0薄膜。用X线衍射仪、原子力显微镜研究Cu掺杂对ZnO(Zn0：Cu)薄膜的微观结构、表面形貌的影响。结果表明，Cu掺杂并未改变Zn0的纤锌矿结构，但所有样品的衍射峰向大角度偏移，且薄膜的粒径增大，说明薄膜的内在应力使晶格发生了畸变。在Zn0薄膜的透射光谱中，透射率在可见光范围随掺杂量的增加而降低，且吸收边发生红移，可见Cu掺杂减小了带隙宽度。
【关键词】
《中国林业经济》 2015-11-12
《压电与声光》 2015-11-12
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《低压电器》 2015-11-13
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《现代制造技术与装备》 2015-11-13
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010-56259535
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