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一种硅微机械陀螺制造方法研究

更新时间:2015-11-12

【摘要】给出了一种硅微机械陀螺制造方法,该方法可适用于各种不同的微机电系统( MEMS)器件,包括加速度计、剪切应力传感器及MEMS光开关等。利用该方法制备了硅微机械陀螺,并给出了该陀螺的性能测试结果。同时分析了利用该方法制备各种不同器件时,工艺流程对器件性能的影响,重点讨论了硅一玻璃阳极键合、减薄工艺及深刻蚀所形成的侧壁质量,包括侧壁垂直度、侧壁杂质等因素对器件性能的影响。

【关键词】

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