【摘要】该文研究了一种覆盖六氟-2-羟基异丙基聚硅氧烷(SXFA)敏感膜，并针对有机磷化学物检测的新型Love波传感器，采用36。YX -LiTa03与Si02分别作为Love波延迟线器件的压电基底与波导层材料。将所研制的Love波器件作为差分振荡器的频率控制单元，结合SXFA敏感膜，开展了针对甲基磷酸二甲(DMMP)的气体传感实验，分析了不同波导层膜厚对Love波传感器气体响应的影响，并与传统瑞利型声表面波模式的气体传感器性能进行了对比，实验结果显示，Love波模式传感器表现出高灵敏度特性。
【关键词】
《广州大学学报（社会科学版）》 2015-11-12
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010-56259535
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