【摘要】对影响ST-切向石英表面湿法腐蚀质量的因素进行了试验研究，并对结果进行了详细分析。试验基片材料为双面抛光的ST-切向石英晶体，掩蔽膜材料为CrlAu双层金属膜，腐蚀液为HF和NH4F的混合溶液；主要研究了基片清洗、腐蚀液成分配比及腐蚀温度等工艺参数对基片表面腐蚀质量的影响，并通过选择最佳的试验参数，以约0.7 Um／min的适中腐蚀速率加工出了满足要求的晶体表面。
【关键词】
《吉林农业》 2015-11-12
《压电与声光》 2015-11-12
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010-56259535
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