【摘要】乐甫( Love)波其质点振动方向垂直于传播方向，同时又平行于基片表面，在基片法线方向上无振动分量。因此当基于Love波的电子器件在接触液体时Love波能量损耗很少，因而乐甫波声表面波(SAW)传感器主要用于液相检测。在石英上表面及在其上面淀积的Si02薄膜中激发、传播的乐甫波对Si02薄膜质量的变化很敏感，因此该文研究了基于乐甫波的湿度传感器感知气体环境的湿度含量。该文乐甫波湿度传感器采用42. 75。Y-旋转切割石英基片，传播方向为[O。，132. 75。，90。]。吸湿膜采用APCVD制作的多孔Si02薄膜，此类膜比PECVD制作的Si02膜疏松，吸湿、脱湿迅速。传感器灵敏度为62 kHz／% RH，最大湿滞约3%，测得的湿敏特性、迟湍特性表明，Love波SAW湿度传感器线性度较好，实验验证了该结构具有很好的气体测试前景。
【关键词】
《考试与评价》 2015-11-12
《吉林农业》 2015-11-12
《考试与评价》 2015-11-12
《考试与评价》 2015-11-12
《文化产业》 2015-11-13
《文化产业》 2015-11-13
《唐山学院学报》 2015-11-13
《考试与评价》 2015-11-13
010-56259535
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