【摘要】微机械陀螺仪是陀螺技术和微电子机械系统( MEMS)技术结合产生的新一代惯性器件。根据其工作原理和采用材料的不同，微机械陀螺可分为硅基微机械振动陀螺( Si- MVGs)、微机械压电振动陀螺(PVGs)和悬浮转子式微机械陀螺等。该文介绍了微机械陀螺仪的主要参数指标和应用，对硅基微机械振动陀螺( Si-MVGs)、微机械压电振动陀螺(PVGs)和悬浮转子式微机械陀螺的最新研究进展作了综合性报道，讨论了微机械陀螺未来的发展趋势。
【关键词】
《河南农业》 2015-11-12
《考试与评价》 2015-11-12
《河南农业》 2015-11-12
《吉林农业》 2015-11-12
《考试与评价》 2015-11-13
《考试与评价》 2015-11-13
《压电与声光》 2015-11-12
《佛山科学技术学院学报（自然科学版）》 2015-11-12
010-56259535
关注中教数据库
Copyright © 2013-2016 ZJHJ Corporation,All Rights Reserved
个人中心
退出
发表评论
登录后发表评论 (已发布 0条)点亮你的头像 秀出你的观点