【摘要】石英振梁加速度计( QVBA)具有检测精度高、准数字输出的特点，灵敏度是影响其性能的一个重要指标参数。针对现有石英振梁加速度计灵敏度低的问题，设计了一种高灵敏度石英振梁加速度计。它采用在石英摆片上下位置施加一对限位片，既可对石英摆片的最大位移量进行限制以提高器件的抗冲击性能，又可增加石英摆片振动过程中的阻尼力以提高器件的抗振动性能，降低了加速度计一阶模态谐振频率的限制条件，有效提高了加速度计的灵敏度。最后依据加速度计的结构特点设计出了相应的工艺制作方案，并加工出了差分结构的加速度计样机，经测试其灵敏度为65. 74 Hzlg，10 min零位稳定性为15.8扯g。
【关键词】
《河南农业》 2015-11-12
《吉林农业》 2015-11-12
《考试与评价》 2015-11-12
《河南农业》 2015-11-12
《考试与评价》 2015-11-12
《考试与评价》 2015-11-12
《考试与评价》 2015-11-12
《压电与声光》 2015-11-12
010-56259535
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