【摘要】研制了一种新的声表面波控制开关的微阀。在128。YX -LiNb03基片上光刻叉指换能器，其激发的声表面波加热微槽内石蜡油，熔融其上方微腔内固体石蜡，石蜡由于相变化而体积膨胀，使得微腔顶部的聚二甲基硅氧烷( PDMS)薄膜发生形变，微阀由开态转变为关态。红色染料溶液微流体为实验对象进行微阀操作实验，结果表明，声表面波可有效实现微阀的控制，且微阀开关时间随所加电信号功率增加而减少，在32 dBm电信号功率作用下，微阀关闭时间为3 min。
【关键词】
《河南理工大学学报（自然科学版）》 2015-11-12
《大连交通大学学报》 2015-11-12
《河南理工大学学报（自然科学版）》 2015-11-12
《压电与声光》 2015-11-12
《考试与评价》 2015-11-12
《考试与评价》 2015-11-13
《河南理工大学学报（社会科学版）》 2015-11-13
《河南理工大学学报（自然科学版）》 2015-11-13
010-56259535
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