【摘要】采用在Be0陶瓷基片表面被覆玻璃釉的方法实现基片表面的平整化改性，并利用台阶测试仪、扫描电子显微镜(SEM)等手段研究不同烧结制度对被釉基片表面粗糙度的影响。实验结果表明，相较于抛光处理的Be0陶瓷基片的轮廓平均偏差和算数均方根偏差值分别为62.8 nm和141.9 nm，被釉平整化改性的Be0陶瓷基片的参数值可分别降至18.2 nm和24.9 nm，可实现高效率、低成本的Be0陶瓷基片平整化改性。
【关键词】
《大连交通大学学报》 2015-11-12
《大连交通大学学报》 2015-11-12
《河南理工大学学报（自然科学版）》 2015-11-12
《大连交通大学学报》 2015-11-12
《压电与声光》 2015-11-12
《广州大学学报（社会科学版）》 2015-11-13
《压电与声光》 2015-11-12
《考试与评价》 2015-11-12
010-56259535
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