【摘要】采用直流磁控溅射在(0001)蓝宝石基片上制备Sc掺杂AIN (ScAIN)薄膜，所用靶材是ScAl合金靶(Sco．06 Alo．94)。通过X线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)测量其结晶取向和表面形貌，通过压电响应显微镜(PFM)测量其压电性能。结果表明，溅射气压是影响薄膜结晶质量和压电性能的重要因素。随着气压从0.3 Pa增加到0.7 Pa，薄膜的结晶质量和表面形貌会先变好后变差，薄膜的压电常数也有相似的变化规律。最后，当溅射气压为0.5 Pa时获得了高度c轴取向的ScAIN薄膜，薄膜的摇摆曲线半高宽(FWHM)为2.6。，表面粗糙度(RMS)为2. 650 nm，压电常数为8.1 pClN。
【关键词】
《河南理工大学学报（社会科学版）》 2015-11-12
《大连交通大学学报》 2015-11-12
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010-56259535
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