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一种Love波器件三维建模及特性研究

更新时间:2015-11-12

【摘要】为了准确表征Love波器件的质点位移和色散关系,提出了一种Love波器件三维建模方案。在Love波器件的三维建模中,该方案用有限数量单元去逼近实际Love波器件的真实物理结构和叉指换能器、波导层等实际载荷工况。通过一个压电基片材料为128。YX-LiNb03,金属叉指换能器为Al电极,波导层材料为Zn0薄膜的Love波器件三维模型实验,验证了该Love波器件建模方案的可行性。实验结果表明,在49~51 MHz的频率范围内,Love波模态声波的频率为49. 072 MHz、49. 295 MHz、49. 607 MHz和50. 062 MHz。在这4个频率处Love波仅存在X方向质点位移的变化,y和Z方向的质点位移都为O。器件的色散关系为随着角频率增大,Love波的速度逐渐藏小。

【关键词】

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