【摘要】石英微机械陀螺是振动惯性器件，而陀螺敏感芯片结构的抗振动能力会直接影响陀螺的性能。由于工作环境的振动会对陀螺的性能产生一定的影响，因此需提高陀螺敏感芯片结构的抗振动能力。该文利用有限元仿真软件对敏感芯片结构进行随机振动仿真分析，通过对敏感芯片结构的优化，提高了陀螺的抗振动能力。
【关键词】
《华侨大学学报（哲学社会科学版）》 2015-11-11
《压电与声光》 2015-11-11
《中外医疗》 2015-11-11
《中外医疗》 2015-11-11
《压电与声光》 2015-11-12
《铝加工》 2015-11-13
《压电与声光》 2015-11-13
《考试与评价》 2015-11-12
010-56259535
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