【摘要】基于有限元压电材料中表面波传播的有限元分析原理，利用有限元分析软件COMSOL对基于Zn0单晶材料的声表面波器件进行多物理域耦合建模与仿真，提取出了符合声表面波振型的对称模态变形图和反对称模态变形图。通过谐振频率分析，计算出了Zn0单晶的相速度和机电耦合系数；通过频率响应分析，得出谐振器输入导纳、阻抗与频率之间的关系图；最后讨论了叉指换能器的结构对谐振频率、反谐振频率的影响，得出输入、输出叉指换能器(IDT)的叉指电极对数越大，插入损耗值越大，信号衰减越小
【关键词】
《压电与声光》 2015-11-11
《中外医疗》 2015-11-11
《压电与声光》 2015-11-11
《中外医疗》 2015-11-11
《考试与评价》 2015-11-13
《压电与声光》 2015-11-13
《河南理工大学学报（自然科学版）》 2015-11-12
《吉林农业》 2015-11-12
010-56259535
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