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基于PVA7ST-900X石英的Love波湿度传感器的 实验研究

更新时间:2015-11-11

【摘要】道了覆盖聚合物敏感膜的Love波传感器的湿度检测性能。该传感器采用在ST-900X石英基底上  旋涂聚乙烯醇( PVA)膜作为波导层兼吸湿层,测量了密闭空间中相对湿度从9%增加到88%时器件的工作频率及损耗。实验表明,频率偏移和损耗增量均由吸附后质量负载所产生,其变化规律遵循第III类等温吸附曲线。

【关键词】

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