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基于GGNMOS的ESD建模与仿真技术研究

更新时间:2015-11-11

【摘要】随着微电子加工工艺技术的发展,集成电路对静电越来越敏感。设计合理有效的静电放电( ESD)保护器件显得日趋重要。传统的“手动计算十流片验证”的设计方法费时耗力。该文基于栅极接地的NMOS(GGN-MOS)器件,以Sentaurus为仿真平台,建立器件模型,根据ESD防护能力的需求,计算出GGNMOS的设计参数,设计出防护指标达到人体模型(HBM)4.5 kV的管子。结果表明,该方法简单有效,能缩短设计周期,是防护器件设计的一种优秀方法。

【关键词】

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