【摘要】微加速度计用于测量载体的加速度，并提供相关的速度和位移信息。该文主要对一种硅基压阻式高 加速度g( g=9.8 m／s2)值微加速度计在冲击加速度环境下进行有限元仿真分析。分析结果表明，所设计的压阻式高g值微加速度传感器在15×l04g量程内可正常并有效工作，且可承受40×l04g高速冲击，当加速度超过40.8×l04g时，加速度计发生失效变形。分析了加速度计在冲击环境下的主要失效模式及失效机理，得出了压阻式加速度计在冲击环境下的失效主要从梁与边框和质量块连接处开始，随着冲击时间（即冲击强度）的增加，结构应力逐渐达到屈服极限，材料发生屈服敖应，然后发生断裂。
【关键词】
《天津中德职业技术学院学报》 2015-11-11
《中外医疗》 2015-11-11
《天津中德职业技术学院学报》 2015-11-11
《压电与声光》 2015-11-11
《单片机与嵌入式系统应用》 2015-11-13
《西北水电》 2015-11-13
《吉林农业》 2015-11-12
《压电与声光》 2015-11-12
010-56259535
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