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提拉单晶炉自动引晶技术的研究

更新时间:2015-11-11

【摘要】该文从人工引晶工艺流程人手,结合提拉法单晶炉已有技术和温度测控技术,使用计算机编程技术和传感器测量技术完成人工引晶的各项步骤,实现了提拉法单晶炉引晶技术的全自动化,从而实现真正意义上的全自动单晶炉。

【关键词】

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