【摘要】该文设计了一种基于声表面波(SAW)传感原理的无源无线压力传感器。阐述了SAW单端谐振器的原理，对SAW压力传感器的原理进行了分析。选择了基于类似两端固定梁的敏感结构并利用ANSYS软件对其敏感结构进行仿真、分析。利用Mathcad软件对SAW压力传感器进行建模、仿真。并根据仿真结果设计和制作了SAW压力传感器。测试结果表明，制作的传感器灵敏度较高，误差小，具备良好的压力频率特性。
【关键词】
《叉车技术》 2015-11-11
《天津中德职业技术学院学报》 2015-11-11
《天津中德职业技术学院学报》 2015-11-11
《中外医疗》 2015-11-11
《河南理工大学学报（自然科学版）》 2015-11-12
《农机使用与维修》 2015-11-12
《中国林业经济》 2015-11-12
《压电与声光》 2015-11-12
010-56259535
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