【摘要】研究了基于ST- 90。X石英基片和SU-8波导层的乐甫波器件的温度特性。采用电极宽度控制单向单相(EWClSPUDT)结构和铝电极，设计制作了具有单一模式控制功能和低插入损耗的150 MHz剪切型声表面波(SH-SAW)延迟线器件，并在其表面涂覆不同膜厚的SU-8声波导层构成系列乐甫波器件。由于SU-8波导层与石英基片温度系数的相反极性特性，SU-8膜厚直接影响到了乐甫波器件的温度特性。实验发现，覆盖不同膜厚的SU-8的乐甫波器件的中心频率随温度呈非线性变化，且在60～80℃内，SU-8膜厚为0.95 t_'m时，其频率温度系数约为0. 830×10“／℃。
【关键词】
《天津中德职业技术学院学报》 2015-11-11
《天津中德职业技术学院学报》 2015-11-11
《中外医疗》 2015-11-11
《压电与声光》 2015-11-11
《单片机与嵌入式系统应用》 2015-11-13
《考试与评价》 2015-11-12
《农机使用与维修》 2015-11-12
《河南理工大学学报（社会科学版）》 2015-11-13
010-56259535
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