【摘要】薄膜体声波谐振器(FBAR)具有高灵敏度、高工作频率，低功耗，小尺寸及制造工艺IC兼容的特点，使其成为高效能换能器和传感器的理想技术。基于FBAR的传感器，如高灵敏度质量传感器、DNA和蛋白质探测器、气体传感器、水银离子探测器和微区质量探测器，与采用其他微电子机械系统的同类传感器相比，已取得了更好的传感性能。该文综述了FBAR传感器的进展，特别是FBAR高灵敏度传感器、FBAR谐振式传感器及其高频读出电路；提出了采用六端口反射计实现FBAR换能器的射频频率偏移信号读出、基于单片微波集成电路或低温共烧陶瓷工艺制备的六端口网络构建集咸FBAR传感器的原创设想。
【关键词】
《天津中德职业技术学院学报》 2015-11-11
《压电与声光》 2015-11-11
《天津中德职业技术学院学报》 2015-11-11
《天津中德职业技术学院学报》 2015-11-11
《考试与评价》 2015-11-12
《考试与评价》 2015-11-12
《考试与评价》 2015-11-13
《考试与评价》 2015-11-12
010-56259535
关注中教数据库
Copyright © 2013-2016 ZJHJ Corporation,All Rights Reserved
个人中心
退出
发表评论
登录后发表评论 (已发布 0条)点亮你的头像 秀出你的观点