【摘要】介绍简谐振子的工作原理。利用ANSYS软件，采用有限元法创建了简谐振子质量块的实体模型，选择单晶硅作为简谐振子中质量块的材料；设置了模型的材料属性，采用智能分网的方式对模型划分网格，并对质量块模型施加沿z轴水平方向载荷，进行三维的静力分析和模态分析。静力分析得到实体模型的总位移是0. 236×10-19 rLIIl；模态分析时只对前四阶模型进行了分析，根据其振型图及其总位移的应力云图，得到实体模型的二十阶振动模态的频率是78 001 Hz，二十阶的总位移是0.122×10-6 rLIIl。
【关键词】
《天津中德职业技术学院学报》 2015-11-11
《压电与声光》 2015-11-11
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《农机使用与维修》 2015-11-12
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010-56259535
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