【摘要】对于广泛采用的压阻式微加速度计，在传统工艺下，提高量程和固有频率意味着增加梁厚，减小应力， 而提高灵敏度又要求减小梁厚，这是相互矛盾的。设计了一种4边4梁结构的高过载压阻式微加速度计，在传统梁一岛结构微加速度计的基础上进行了改进，采用主梁和微梁相结合的设计思想，在提高固有频率、量程的同时提高了灵敏度。在梁的末端采用了新式的延伸梁结构设计，有效地消除了集中应力的现象，提高了结构的抗过载能力。对其进行了阻尼分析和压阻元件的设计，并给出了可行的版图设计方案。仿真结果表明，该微加速度计的各项指标均满足设计要求，具有明显的优越性。
【关键词】
《天津中德职业技术学院学报》 2015-11-11
《宁波职业技术学院学报》 2015-11-11
《中外医疗》 2015-11-11
《叉车技术》 2015-11-11
《河南理工大学学报（自然科学版）》 2015-11-12
《山东科学》 2015-11-12
《广州大学学报（社会科学版）》 2015-11-12
《农机使用与维修》 2015-11-12
010-56259535
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