【摘要】针对耦合型超薄悬臂梁阵列释放过程中发生的粘附现象，采用背面湿法腐蚀的释放工艺，研究了液体 表面张力对悬臂梁释放时的影响。通过改变悬臂梁释放时的液体环境和清洗方法，降低液体表面张力，避免悬臂 梁的粘连，成功制备出长为220 t_'m，宽为io r_'m，厚为220 nm的超薄悬臂梁，成品率可达100%。
【关键词】
《天津中德职业技术学院学报》 2015-11-11
《建材发展导向》 2015-11-11
《天津中德职业技术学院学报》 2015-11-11
《中外医疗》 2015-11-11
《压电与声光》 2015-11-13
《考试与评价》 2015-11-13
《河南理工大学学报（社会科学版）》 2015-11-13
《中国林业经济》 2015-11-12
010-56259535
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