【摘要】提出了将纳米线技术与声表面波(SAW)技术相结合,分别利用纳米线气体敏感材料比表面积高,声表面波传感器质量敏感性高的优点,探索研制新一代声表面波气体传感器。该传感器具有响应速度快,灵敏度高,体积小,质量注和易集成等优点。该文主要从SAW专用芯片的研制、专用纳米线研制、专用纳米线的表面修饰与改性研究、检测电路设计等4方面进行了阐述。理论计算表明,相比传统二维结构的SAW气体传感器,三维纳米线结构的SAW气体传感器的在灵敏度和响应速度上都得到提高。
【关键词】
《建材发展导向》 2015-11-11
《压电与声光》 2015-11-11
《中外医疗》 2015-11-11
《天津中德职业技术学院学报》 2015-11-11
《中外医疗》 2015-11-11
《压电与声光》 2015-11-12
《河南理工大学学报(自然科学版)》 2015-11-12
《叉车技术》 2015-11-11
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