【摘要】随着薄膜体声波谐振器( FBAR)工作频率及FBAR器件集成度的不断提高，FBAR器件的电磁干扰问题显得尤为突出。常用电学模型和有限元模型都假定FBAR中的电磁场为无源准静态场，无法仿真模型的相关电磁特性。使用HFSS高频电磁仿真软件建立了FBAR的三维电磁仿真模型，采用一个包含声场特性的等效介电常数，实现了FBAR电磁场分布、电磁场耦合与压电效应的一体化仿真。分析了高频电磁场分布及电磁场耦合对谐振特性的影响，通过优化FBAR与临近元件的间距及采用不同介电常数的基板材料，减小了电磁场耦合的干扰。
【关键词】
《天津中德职业技术学院学报》 2015-11-11
《宁波职业技术学院学报》 2015-11-11
《中外医疗》 2015-11-11
《中外医疗》 2015-11-11
《宁波职业技术学院学报》 2015-11-12
《天津中德职业技术学院学报》 2015-11-11
《中外医疗》 2015-11-11
《宁波职业技术学院学报》 2015-11-11
010-56259535
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