【摘要】采用双晶片型压电执行器，对微夹钳进行了结构设计。根据压电陶瓷晶体变形的本质是极化及极化与表面电荷的关系，提出了基于积分电荷的钳指位移与夹持力的自感知方法。基于Jan G．Smits的压电悬臂梁静态模型，建立了钳指位移与夹持力的自感知数学模型。实验结果表明，静态或低频情况下，自感知的钳指位移同传感器获得的钳指位移具有很好的一致性；自感知方法所获得的夹持力(最大值为0. 072 N)大于微量电子天平的测量结果(最大值为0. 052 N)，通过对自感知夹持力曲线进行相应的系数修正，自感知方法所获得的结果能很好地反映夹持力的真实大小。
【关键词】
《科技创业月刊》 2015-11-11
《建材发展导向》 2015-11-11
《中外医疗》 2015-11-11
《建材发展导向》 2015-11-11
《天津中德职业技术学院学报》 2015-11-11
《大连交通大学学报》 2015-11-12
《压电与声光》 2015-11-12
《宁波职业技术学院学报》 2015-11-11
010-56259535
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