【摘要】薄膜声体波谐振器(FBAR)技术以其频率高，品质因数(Q)高，插入损耗低，与半导体集成电路(IC)工艺兼容等优良特性在无线通信领域获得了广泛应用。基于FBAR技术的传感器具有灵敏度高，体积小，线性度好及易于集成等特点，符合目前传感器的微型化、智能化、信息化的主流发展趋势。该文对FBAR传感器的研究现状、发展动向等方面进行了总结并对石英晶体微天平( QCM)、声表面波(SAW)和FBAR这几种声波质量传感器进行了比较。最后对FBAR传感器技术作了简要评述并讨论了FBAR传感器未来的发展趋势。
【关键词】
《科技创业月刊》 2015-11-11
《宁波职业技术学院学报》 2015-11-11
《科技创业月刊》 2015-11-11
《科技创业月刊》 2015-11-11
《考试与评价》 2015-11-12
《宁波职业技术学院学报》 2015-11-11
《压电与声光》 2015-11-11
《吉林农业》 2015-11-12
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