【摘要】利用有限元软件COMSOL对声表面波温度传感器进行仿真。声表面波温度传感器基底材料为YX -切石英单晶，并在石英上镀Zn0薄膜，叉指换能器和反射栅采用铝电极。通过仿真研究了叉指换能器的高度、金属化率变化对声表面波温度传感器性能的影响，并根据仿真结果设计和制作了一种镀Zn0薄膜的SAW温度传感器。测试结果表明，制作的传感器灵敏度较高(8.8 kHz]℃)，误差小，具备良好的温度一频率特性
【关键词】
《科技创业月刊》 2015-11-11
《中外医疗》 2015-11-11
《宁波职业技术学院学报》 2015-11-11
《中国肿瘤临床》 2015-11-11
《吉林农业》 2015-11-12
《压电与声光》 2015-11-12
《河南农业》 2015-11-12
《吉林农业》 2015-11-12
010-56259535
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