【摘要】介绍了一种微型化体声波谐振器的理论模型和实作结果，采用微电子和微机械加工技术，实现了一种上、下电极覆盖压电AIN的“三明治”空气腔悬梁结构。该谐振器具有微型化，高品质因数，低成本的特点，实作的谐振器频率约20 MHz，品质因数为800，机电耦合系数约0.5%。
【关键词】
《中国肿瘤临床》 2015-11-11
《科技创业月刊》 2015-11-11
《中外医疗》 2015-11-11
《宁波职业技术学院学报》 2015-11-11
《吉林农业》 2015-11-12
《宁波职业技术学院学报》 2015-11-12
《压电与声光》 2015-11-11
《压电与声光》 2015-11-11
010-56259535
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